万通道3D纳米激光直写光刻机模型。　鲍梦妮 摄

　　据悉，双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力，是微纳加工领域的前沿方向，广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈，难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。

　　对此，研发团队采用双光子激光直写技术，提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案，可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节，从而实现多通道独立控制。

　　浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍，目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率，加工速度和精度均处于国际领先水平。

　　此外，研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新，该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米，加工速率可达42.7平方毫米/分钟，最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片，为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)

【编辑:田博群】

游戏特色

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3、独特的横版滚屏射击

4、非常严密的思维逻辑

5、经典的像素风格画面

亮点优势

煌瑟软件// 中国科研机构发明新型激光直写光刻机

下一步，仍需进一步做好供给侧改革和需求侧管理，围绕培育内需体系、扩大居民消费、发挥投资对优化供给结构的关键作用、优化收入分配格局、加快建立高标准市场体系等方面坚定实施扩大内需战略。目前，国足首发阵容已经出炉，名单如下：中国队首发：1-韩佳奇、4-蒋圣龙、5-朱辰杰、6-蒋光太、16-温家宝、17-徐浩峰、8-戴伟浚、19-黄嘉辉、20-方昊、11-谭龙、22-刘祝润中国队替补：25-黄子豪、2-叶力江、3-吴少聪、7-陶强龙、12-彭鹏、13-徐越、14-陈国抗、15-迪力依米提、18-何宇鹏、21-么旭辰、23-梁少文、24-苏士豪、26-刘若钒

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