中国科研机构发明新型激光直写光刻机

  中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日,浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会,宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机,为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。

万通道3D纳米激光直写光刻机模型。 鲍梦妮 摄

  据悉,双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力,是微纳加工领域的前沿方向,广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈,难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。

  对此,研发团队采用双光子激光直写技术,提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案,可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节,从而实现多通道独立控制。

  浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍,目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率,加工速度和精度均处于国际领先水平。

  此外,研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新,该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米,加工速率可达42.7平方毫米/分钟,最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片,为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)

【编辑:田博群】
直接打开
<kbd date-time="nqmmF"></kbd><del id="BTQw0j"></del>
分享成功
热门导读
<b lang="cCE2w"></b>
  • 黑龙江:成功入围首批国家智能制造标准应用试点项目名单
  • �
  • 无人机集群应用前景广阔(科技大观)
查看更多

《白烛之村1∽4集动漫》

发布时间:2026-04-11 22:58:46 午夜dj电影高清免费星空 来自湖南

TaiwanresidentsonChinesemainlandeligibleformedicalinsurancespokesperson你知道雅阁保有量达到50万辆,所以保值率很高的。在搭载电子设备时,无人机可执行电子战、雷达侦察等任务;搭载弹药时,“辅助”无人机又可以视作一个小型无人战斗机;它还可携带货物,发挥一定运输机的作用。购买足球的时候如何做到尽量能够去买对,就是要看你分析盘口和水位的能力了,当然这是后续话题。

本文来自网友发表,不代表本网站观点和立场,如存在侵权问题,请与本网站联系删除!
展开
打开APP,阅读全文
支持楼主

95人支持

阅读原文 阅读 9905608
举报
热点推荐
  • 江西6000余所中小学、幼儿园完成校园安防智慧化改造

    2026-04-11 22:58:46

  • 《飞狗MOCO之家有小短腿》在线观看

    2026-04-11 22:58:46

  • 内蒙古自治区高院10项举措服务优化营商环境——新华网内蒙古频道

    2026-04-11 22:58:46

  • 犹他大学亚洲校区增设学位课程在韩国启用全新教学设施

    2026-04-11 22:58:46

  • 初心使命映照华电奋斗担当之路——中国华电党组“不忘初心、牢记使命”主题教育综述

    2026-04-11 22:58:46

  • 专题2022年企业社会责任优秀案例展示

    2026-04-11 22:58:46

安装应用

年轻、好看、聪明的人都在这里