秦先生在第23部秦先生在第23部- 2025年最新下载

中国科研机构发明新型激光直写光刻机

　　中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日，浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会，宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机，为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。

万通道3D纳米激光直写光刻机模型。　鲍梦妮摄

　　据悉，双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力，是微纳加工领域的前沿方向，广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈，难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。

　　对此，研发团队采用双光子激光直写技术，提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案，可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节，从而实现多通道独立控制。

　　浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍，目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率，加工速度和精度均处于国际领先水平。

　　此外，研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新，该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米，加工速率可达42.7平方毫米/分钟，最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片，为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)

【编辑:田博群】

直接打开

分享成功

热门导读

《秦先生在第23部》

发布时间:2026-04-12 05:59:45 我的男友是消防员动漫无删减樱花来自湖南

新华时评：以质量变革引领美好生活据哈尔滨市商务局流通秩序管理处处长赵兴亚介绍，截至2月7日21时，哈尔滨市汽车促消费活动共销售新车2832台，发放消费补贴万元，实现销售亿元，有效促进了哈尔滨市汽车销售增长和社零额提升。新华社记者蒲晓旭摄　　新华通讯社总编辑吕岩松在致辞中说，中国企业家博鳌论坛自2016年成功发起以来，深入贯彻落实习近平经济思想，聚焦增企业活力、强创新动力、谋发展良方，搭建高端交流合作平台，提供项目对接、合作签约、品牌推介等综合服务，成为中国企业家交流合作的“连心桥”。既探讨商业的发展，更融入珠宝和香薰等环节，带给女企业家更多欣喜。

本文来自网友发表，不代表本网站观点和立场，如存在侵权问题，请与本网站联系删除！