中国科研机构发明新型激光直写光刻机
5462381分| 8648124人| 7387967Mb
安全下载 普通下载
360手机助手官方下载,安全高速
已安装
《wtt赛事直播》
《wtt赛事直播》,

  中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日,浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会,宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机,为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。

万通道3D纳米激光直写光刻机模型。 鲍梦妮 摄

  据悉,双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力,是微纳加工领域的前沿方向,广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈,难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。

  对此,研发团队采用双光子激光直写技术,提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案,可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节,从而实现多通道独立控制。

  浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍,目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率,加工速度和精度均处于国际领先水平。

  此外,研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新,该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米,加工速率可达42.7平方毫米/分钟,最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片,为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)

【编辑:田博群】
下载
应用介绍
应用详情:《wtt赛事直播》从最终投票结果来看,基金份额持有人(或其代理人)所代表份额共计份,占权益登记日基金总份额份的%,也是刚好过了50%的“及格线”。...
应用详情:我们联系上的几位说,自家房子基本全塌了,还好没人受伤,已经在当地政府提供的避难场所里。
一张张神采飞扬的青春笑脸,描绘的正是青春中国最美的模样!监制:王丕屹主编:牛 宁校审:毛 莉文案:栾雨石后期:陆宁远配音:牛 宁【“奋进中国的青春力量”系列短视频】责编:吴正丹、毛莉。

-----主要功能------
我们要把思想和行动统一到习近平总书记重要讲话精神上来,统一到党中央决策部署上来,扎实抓好本地区本部门本单位各项工作,扎实推进中国式现代化建设,坚定不移把党的二十大提出的目标任务落到实处。“今年种了多少亩地?你觉得今年的化肥、农药等春耕物资供应情况怎么样?”“农技员来地里指导种植技术还满意吗?”“有没有什么问题要反映?”2月2日上午,在汶上县郭仓镇宋村一处农田里,镇干部正在与种粮大户面对面交流,了解春耕春种情况。~

------创新亮点----
关于中国共产党新闻网2006年7月1日,由中共中央批准,人民日报社人民网承办的中国共产党新闻网()正式上线。~


《wtt赛事直播》“充分释放全社会创造潜能”“充分调动广大党员干部干事创业的积极性”“充分激发全社会创造活力”,字里行间是只争朝夕的紧迫感。

版本:5.1.7

更新时间:2026-04-12 10:55:38

开发者:one一个污版致敬韩寒有限公司
权限信息:权限详情 隐私政策:隐私详情
用户评论
加载更多