中国科研机构发明新型激光直写光刻机

  中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日,浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会,宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机,为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。

万通道3D纳米激光直写光刻机模型。 鲍梦妮 摄

  据悉,双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力,是微纳加工领域的前沿方向,广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈,难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。

  对此,研发团队采用双光子激光直写技术,提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案,可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节,从而实现多通道独立控制。

  浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍,目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率,加工速度和精度均处于国际领先水平。

  此外,研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新,该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米,加工速率可达42.7平方毫米/分钟,最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片,为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)

【编辑:田博群】
直接打开
<kbd date-time="kobVE"></kbd><del id="mUdQY"></del>
分享成功
热门导读
<b lang="x0yXA3C3"></b>
  • 春节档之后继续“佳片有约”
  • 踔厉奋发向未来全国各地广泛开展新年登高活动
  • 上思视窗--广西频道--人民网
查看更多

《中文字幕一区日韩精品》

发布时间:2026-04-14 02:53:18 春姑豆豆 来自湖南

把协商民主优势转化为人民民主效能(深入学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想)对跑官要官的,一律不得提拔使用,并记录在案,视情节给予批评教育或组织处理;对拉票贿选的,一律排除出人选名单或取消候选人资格,已经提拔的责令辞职或者免职、降职,贿选的还要依纪依法处理;对买官卖官的,一律先停职或免职,移送执纪执法机关处理;对违反规定作出的干部任用决定,一律宣布无效,按干部管理权限予以纠正;对说情、打招呼和私自干预下级干部选拔任用的,一律坚决抵制,视情节给予批评教育或组织处理。知识产权系统要充分认识新形势下做好知识产权保护工作的重大意义,扎实做好2021年知识产权重点工作。除了一起吃月饼、看中秋节晚会以外,还准备了游戏。

本文来自网友发表,不代表本网站观点和立场,如存在侵权问题,请与本网站联系删除!
展开
打开APP,阅读全文
支持楼主

95人支持

阅读原文 阅读 7207424
举报
热点推荐
  • 请惠天热电提高供暖质量

    2026-04-14 02:53:18

  • “阳康”之后,过年怎么吃?这份指南请查收

    2026-04-14 02:53:18

  • 环球观点:北京首都国际机场位于哪个区?北京一共有几个机场?

    2026-04-14 02:53:18

  • 智能巡检机器狗进入试运行阶段

    2026-04-14 02:53:18

  • 李克强向英国48家集团俱乐部“破冰者”2023新春庆祝活动致贺信

    2026-04-14 02:53:18

  • 贵州省公路局--多彩贵州路·畅安舒美行--贵州频道--人民网

    2026-04-14 02:53:18

安装应用

年轻、好看、聪明的人都在这里