中国科研机构发明新型激光直写光刻机

  中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日,浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会,宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机,为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。

万通道3D纳米激光直写光刻机模型。 鲍梦妮 摄

  据悉,双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力,是微纳加工领域的前沿方向,广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈,难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。

  对此,研发团队采用双光子激光直写技术,提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案,可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节,从而实现多通道独立控制。

  浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍,目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率,加工速度和精度均处于国际领先水平。

  此外,研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新,该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米,加工速率可达42.7平方毫米/分钟,最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片,为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)

【编辑:田博群】
直接打开
<kbd date-time="gso2pP2Q"></kbd><del id="rkJVcv"></del>
分享成功
热门导读
<b lang="dr1jmNbj"></b>
  • 中国航空工业集团沈飞“罗阳青年突击队”——挥洒青春逐梦蓝天
  • 中国经济仍是世界经济“稳定器”
  • 宁夏中卫:扁豆子面一份从‘舌尖’到‘心间’的慰藉
查看更多

《91果冻精品福利一区二区三区》

发布时间:2026-04-13 09:53:09 张津瑜在线观看 来自湖南

习近平在中央党校(国家行政学院)中青年干部培训班开班式上发表重要讲话强调&nbsp;信念坚定对党忠诚实事求是担当作为&nbsp;努力成为可堪大用能担重任的栋梁之才我是杜富国,你们正值青春年华,充满朝气,充满希望。美国加利福尼亚州的企业开放人工智能研究中心研发的对话机器人正在人工智能界掀起变革。专注于美国科技政策的华盛顿无党派智库信息技术与创新基金会的报告发现,中国在2020年的创新水平是美国的139%,高于2010年的78%。

本文来自网友发表,不代表本网站观点和立场,如存在侵权问题,请与本网站联系删除!
展开
打开APP,阅读全文
支持楼主

95人支持

阅读原文 阅读 8001786
举报
热点推荐
  • 抓住4个关键点激发工会组织活力

    2026-04-13 09:53:09

  • 国资委等13个部门发文支持国企办医疗机构高质量发展

    2026-04-13 09:53:09

  • 中青漫评丨高铁开启“夜间模式”让春运回家路更安全更温馨

    2026-04-13 09:53:09

  • 购买背户车有风险,购车应当留好这些凭证

    2026-04-13 09:53:09

  • 浙江省一建建设集团有限公司:社会主义核心价值观大讲堂

    2026-04-13 09:53:09

  • 《最终幻想7》绿色度测评报告

    2026-04-13 09:53:09

安装应用

年轻、好看、聪明的人都在这里