据悉，双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力，是微纳加工领域的前沿方向，广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈，难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。

　　对此，研发团队采用双光子激光直写技术，提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案，可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节，从而实现多通道独立控制。

　　浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍，目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率，加工速度和精度均处于国际领先水平。

　　此外，研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新，该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米，加工速率可达42.7平方毫米/分钟，最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片，为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)

2月8日，记者从省政府新闻办、省发改委联合召开的新闻发布会上获悉，我省出台《关于进一步巩固提升经济回稳向好态势的若干措施》，围绕扩投资、促消费、扶实体等七大领域出台28条政策举措，以更实举措扩大内需、以更大力度帮扶实体，推动全省经济精彩开局和高质量发展。《丝瓜视屏禁止18污在线免费版在线看中文版免费版在线看网页在线看》台中港务分公司30日接获专用码头承租业者台电公司通报，将向台当局海巡部门求偿，并要求负责修复被撞坏的码头。