中国科研机构发明新型激光直写光刻机 《青涩天堂》 本报讯(记者胡佳佳通讯员周金颉)“这么快就帮我们企业解决了纠纷,真的很感谢你们!”近日,某钢材供货企业负责人周某来到江西省萍乡市中级人民法院立案速裁团队办公室,向法官黄薇这样说道。《青涩天堂》
开设“父母大学”,打造家庭教育服务品牌;设立家庭教育指导师岗位,针对不同家庭的个性化需求提供具体指导;社区开办“隔代教育”主题讲座,家庭教育指导纳入城乡社区公共服务重要内容。
中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日,浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会,宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机,为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。
万通道3D纳米激光直写光刻机模型。 鲍梦妮 摄
据悉,双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力,是微纳加工领域的前沿方向,广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈,难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。
对此,研发团队采用双光子激光直写技术,提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案,可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节,从而实现多通道独立控制。
浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍,目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率,加工速度和精度均处于国际领先水平。
此外,研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新,该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米,加工速率可达42.7平方毫米/分钟,最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片,为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)
【编辑:田博群】上海市教卫工作党委、市教委相关负责人介绍,上海积极构建家庭教育指导服务新体系,加强学校家庭社会互动,着力形成协同育人的良好局面。
春节期间,珠江百货计划在纽约举办三场舞狮表演,同时在重要位置举办华裔艺术家沃伦·金的展览。
詹姆斯对人群说:能够同像卡里姆这样的传奇人物和名人站在一起,对我来说意义重大。。
(责任编辑:麦克鲍力施)
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