习近平总书记的重要讲话，全面分析了当前国内国际经济形势，深刻总结了新时代10年的伟大变革，明确提出了明年经济工作的总体要求、主要目标、政策取向、重点任务，并就一些重大理论和实践问题进行了深刻阐释，通篇贯穿马克思主义的立场观点方法，深化了对在严峻挑战下做好经济工作的规律性认识，为做好明年经济工作指明了前进方向、提供了根本遵循。
中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日，浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会，宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机，为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。
据悉，双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力，是微纳加工领域的前沿方向，广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈，难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。
对此，研发团队采用双光子激光直写技术，提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案，可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节，从而实现多通道独立控制。
浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍，目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率，加工速度和精度均处于国际领先水平。
此外，研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新，该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米，加工速率可达42.7平方毫米/分钟，最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片，为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)
【编辑:田博群】人民网北京2月9日电（记者王仁宏）据生态环境部消息，2023年2月9日，江苏、内蒙古、西藏3省（区）公开了中央生态环境保护督察整改方案。。
- 今日热点
- 112家星级！河南2019年产业集聚区高质量发展考核结果出炉
- 新疆巴州：新年开足马力忙生产
- 雪山之巅 逐梦翱翔——空军西安飞行学院某旅飞行学员单飞训练影像
- 了解尾气分析仪的养护工作
- 贷你所想 吉林银行“吉商数贷”助力小微客户成长
- 文旅--浙江频道--人民网