中国科研机构发明新型激光直写光刻机
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中新网杭州4月10日电(鲍梦妮)4月10日，浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室在杭州举行成果发布会，宣布成功研发万通道3D纳米激光直写光刻机，为超分辨光刻、光子芯片制造、高端掩模版加工等领域提供关键技术支撑。
万通道3D纳米激光直写光刻机模型。 鲍梦妮 摄
据悉，双光子激光直写技术因具备高分辨率、低热效应、无掩模和真三维加工能力，是微纳加工领域的前沿方向，广泛应用于芯片制造、光存储、微流控和精密传感等领域。但传统单通道激光直写在加工速度上存在瓶颈，难以满足高精度、大面积制造的产业化需求。
对此，研发团队采用双光子激光直写技术，提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案，可在系统中生成1万多个可独立控制的激光焦点。每个焦点能量可实现169阶以上的精细调节，从而实现多通道独立控制。
浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室副主任匡翠方将此突破比喻为“同时用1万支笔写1万个不同的字”。“如何‘写’得精细且均匀是难点所在。”匡翠方介绍，目前该激光直写光刻机实现2.39×10⁸体素/秒的超高打印速率，加工速度和精度均处于国际领先水平。
此外，研发团队提出自适应匀化算法、并行条带扫描、并行灰度体曝光等加工策略。基于上述创新，该激光直写光刻机的加工精度可达亚30纳米，加工速率可达42.7平方毫米/分钟，最大刻写尺寸覆盖12英寸硅片，为大面积微纳结构的高通量、高精度制造提供了新途径。(完)
【编辑:田博群】应用介绍
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不知经历了多少次的推翻重来，包国军和团队的施工方案终于获得通过。。
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新华社北京2月9日电（记者任沁沁）记者9日从中华人民共和国出入境管理局获悉，为便利粤港澳大湾区人才从事科研学术交流活动，促进服务粤港澳大湾区建设发展，自2023年2月20日起在粤港澳大湾区内地城市试点实施往来港澳人才签注政策。该机构人士称，学龄人口持续减少主要与“少子化”问题有关。~
------创新亮点----
实施黑土滩治理、退化草原补播、封沙育草、湿地保护等生态治理工程，实现增草、增绿、增水；园区内48宗矿业权全部退出，实施生态修复工程，抚平生态疮疤，彻底解决生态环境的历史欠账……国家发改委生态成效阶段性综合评估报告显示：三江源区主要保护对象都得到了更好的保护和修复，生态环境质量得以提升，生态安全屏障进一步筑牢。~
《日本－区二区三区12p》“疫苗民族主义”正成为国际社会共同抗疫的“绊脚石”。
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版本：5.1.7
更新时间：2026-04-14 03:22:42
开发者：小明看看无人区有限公司
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